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文/ 发布于 : 2025-05-07 浏览次数：40
地面VC（Vibration Criteria，振动标准）微振动等级是一套广泛应用于精密制造、实验室、医疗设施等领域的振动控制标准，用于评估环境振动对敏感设备的干扰程度，VC 标准由 Gordon 和 Ungar 提出（后由美国国家标准协会ANSI采纳），按振动速度均方根值（RMS，单位为 μm/s 或 in/s）划分等级，从严格到宽松分为 VC-A 到 VC-G（部分扩展标准如 VC-E 和 VC-F 适用于精密环境）。
VC-A | ≤50 | 普通办公室、建筑走廊 |
VC-B | ≤25 | 一般光学实验室、低精度显微镜 |
VC-C | ≤12.5 | 高倍光学显微镜、半导体封装设备 |
VC-D | ≤6.25 | 纳米级光刻机（如DUV）、精密计量 |
VC-E | ≤3.12 | 极紫外光刻（EUV）、原子力显微镜 |
VC-F | ≤1.56 | 量子实验、超精密光学系统（引力波探测） |
VC-G | ≤0.78 | 尖端科研（如冷原子实验） |
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